国家标准查询
National Standard Query

标准号
Standard No.
GB/T 5226.33-2017
中文标准名称
Standard Title in Chinese
机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件
英文标准名称
Standard Title in English
Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
发布日期
Issuance Date
2017-10-14 实施日期
Execute Date
2018-05-01 首次发布日期
First Issuance Date
标准状态
Standard State
复审确认日期
Review Affirmance Date
计划编号
Plan No.
20111071-Q-604
代替国标号
Replaced Standard
被代替国标号
Replaced Standard
废止时间
Revocatory Date
采用国际标准号
Adopted International Standard No.
IEC 60204-33:2009
采标名称
Adopted International Standard Name
机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件
采用程度
Application Degree
IDT 采用国际标准
Adopted International Standard
IEC
国际标准分类号
(ICS)
29.020 中国标准分类号
(CCS)
J09
标准类别
Standard Sort
安全 标准页码
Number of Pages
0 标准价格(元)
Price(¥)
主管部门
Governor
中国机械工业联合会
归口单位
Technical Committees
全国工业机械电气系统标准化技术委员会
起草单位
Drafting Committee
中微半导体设备(上海)有限公司、北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、